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High-Performance MoS2 Complementary Inverter Prepared by Oxygen Plasma Doping

Shibo Wang,Xiangbin Zeng,Yufei Zhou,Jingjing Lu,Yishuo Hu,Wenzhao Wang,Junhao Wang,Yonghong Xiao,Xiya Wang,Duo Chen,Tingwei Xu,Maofa Zhang,Xiaoqing Bao

ACS Applied Electronic Materials（2022）

引用 16|浏览16

关键词

molybdenum sulfide,oxygen plasma,doping,PN junction,inverter,p-MoS2

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