プラズマ直接窒化法によるSiC表面の窒化処理と窒化層の熱的安定性 : 技術研究報告原稿のための解説とテンプレート (電子部品・材料)桂幸 赤羽,巧生 狩野, 航弥 荻野,悠太 小林,朋彦 山上,喜一 上村IEICE technical report. Speech（2014）引用 0|浏览2暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
