高濃度ひ素をドープしたシリコン結晶中の酸素析出挙動【Powered by NICT】 Haringer Stephan,Gambaro Daniela,Porrini MariaJournal of Crystal Growth(2017)引用 0|浏览0暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要