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Optimizing the deposition rate and ionized flux fraction of a high power impulse magnetron sputtering discharge

Martin Rudolph,Nils Brenning,Hamidreza Hajihoseini, Michael A. Raadu,Tiberiu Minea,André Anders,Jon Tomas Gudmundsson,Daniel Lundin

Bulletin of the American Physical Society（2021）

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关键词
high power impulse magnetron,deposition rate,discharge,flux fraction
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