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Ta(N)拡散障壁の透過性と熱安定性に及ぼす厚みスケーリングの影響【JST・京大機械翻訳】

Xu Haoyu,Hu Zheng-Jun,Qu Xin-Ping,Wan Hao,Yan Shen-Suo,Li Ming,Chen Shoumian,Zhao Yuhang, Zhang Jing, R Baklanov Mikhail

Applied Surface Science（2019）

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