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紫外波長領域における光回折放射を用いた非侵襲的マイクロメータスケールの粒子ビームサイズ測定【JST・京大機械翻訳】

M. Bergamaschi,Alexander Aryshev,Pavel Karataev, Robert Kieffer, Thibaut Lefèvre,Stefano Mazzoni,Nobuhiro Terunuma, R. Yang

Physical review applied（2020）

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