检索
AI 对话
AI 辅写
analysis
趋势分析
编组
开放平台
more
更多
排名必读论文期刊顶会热点AI 简史溯源树小脉星探人才迁徙塔尖人才国防情报追踪开源工具智慧手语
VIPCreated with Sketch.

Anticorrosive behavior of SiCxNyOz thin film produced by room temperature PECVD

Kenta Hori,Hiroki Kawakami,Hitoshi Habuka

The Japan Society of Applied Physics（2021）

引用 0|浏览0
暂无评分
关键词
room temperature pecvd,sicxnyoz,thin film,anticorrosive behavior
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要