ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ AlN МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИЕЙ НА ТЕМПЛЕЙТАХ 3С-Sic/si(111) С ON-AXIS И 4° OFF-AXIS РАЗОРИЕНТАЦИЕЙ
Известия Российской академии наук Механика твердого тела(2020)
AI 理解论文
溯源树
样例

生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要