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Optimization of the Channel Design of (Al-in-ga) As Phemt-Heterostructures Obtained by the Method of Metal-organic Vapor-phase Epitaxy

M.V. Revin,V.A. Belyakov, V.A. Ivanov,A.P. Kotkov,A.G. Fefelov,E.V. Demidov, M.N. Drozdov,P.A. Yunin,V.I. Shashkin

Nano- i Mikrosistemnaya Tehnika（2019）

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