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Improved performance and stability of In-Sn-Zn-O thin film transistor by introducing a meso-crystalline ZrO2 high-k gate insulator

Wan-Ho Choi,Jiazhen Sheng,Hyun-Jun Jeong,Jin-Seong Park,MinJung Kim,Woojin Jeon

Journal of Vacuum Science & Technology A（2019）

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