基于超连续光源的InGaAs探测器相对光谱响应度定标技术

InGaAs光电探测器是近红外波段重要的光探测器件之一,具有高量子效率、低暗电流、宽带宽等特性,被广泛应用于光电测量、光通信及遥感等领域中.基于超连续白光激光器与双单色仪的光谱比较装置,利用标准InGaAs陷阱探测器对平面InGaAs探测器在900 nm～1600 nm波段进行了相对光谱响应度的定标,并与利用钨灯作为光源的响应度定标结果进行了比较.两种光源条件下,光谱响应度在900 nm～1600 nm波段最大相对差值小于0.2％,取得了较好的一致性.超连续光源的测量重复性最大值小于0.06％,远小于使用卤钨灯的测量重复性1％,降低了因测量重复性贡献的不确定度分量,验证了超连续激光器在探测器相对光谱响应度定标中的可行性.此外,还对被定标的平面探测器光谱响应度结果进行了测量不确定度分析.