MPCVD金刚石的制备与应用研究进展

Diamond & Abrasives Engineering（2021）

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摘要

金刚石具有硬度高、禁带宽、热导率高、载流子迁移率高、击穿电压高、光学透过性好及化学稳定性优异等特性,在精密机加工、热沉、光电子、量子计算及半导体等众多领域都有广泛且重要的应用.

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