双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究
Electronic Components & Materials（2021）
摘要
随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要.在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000℃范围内的绝缘特性.另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现.结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3薄膜主要以非晶形式存在,薄膜断面的微观形貌致密;2μm厚度的Al2O3薄膜的室温电阻可达2 GΩ,800℃下电阻可达到5 kΩ,表明双离子束溅射方法制备的Al2O3薄膜绝缘层具有良好的高温绝缘性能.
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