一种基于MEMS的小型化双通带宽带滤波器芯片
Application of Electronic Technique（2021）
摘要
基于Micro-Electro-Mechanical System (MEMS)工艺,采用双层谐振腔滤波结构,分析并设计了一种基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide (SIW)双通带宽带带通滤波器芯片.设计的滤波器芯片在21.25-29 GHz以及43～47.5 GHz双通带频带内插入损耗小于3 dB,相对带宽分别为30％以及10％,带外抑制度大于20 dB,并且在双通带间产生了零点,尺寸仅为4.2 mm×1.1 mi×0.8 mm.该滤波器是平面堆叠结构,具有体积小、频带宽、易集成等优点,有较好的应用价值.
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