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Effect of Annealing Process Parameters on N-Gaas Ohmic Contacts

Tao Lin,Jianan Xie,Shaohuan Ning,Zekun Ma,Yan Mu,WanJun Sun,Sha Yang

SSRN Electronic Journal（2021）

引用 4|浏览1
关键词
Circular transmission line model,Ohmic contact,Rapid thermal annealing,Specific contact resistivity
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