WeChat Mini Program
Old Version Features

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ ОБРАЗЕЦ УСТАНОВКИ ГАЗОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ ИЗ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ "ЭПИФАЗ ТМ 200-01" ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ДИАМЕТРОМ ДО 200 ММ

М.Г. Бирюков,В.В. Одиноков, П.Е. Афонин,А.В. Шубников,В.В. Панин,В.М. Устинов, А.Ф. Цуцульников,В.В. Лундин,Е.Е. Заварин,В.Н. Стаценко,С.Д. Федотов,Р.А. Талалаев, Д.С. Базаревский

Nanoindustry Russia（2021）

Cited 0|Views5
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined