用电子散斑干涉法测微小角度

用电子散斑干涉法建立了微小角度定量测量系统，根据散斑噪声的特点，计算散斑图像沿不同方向的投影及投影的调制度，调制度最大值投影的周期为干涉条纹的宽度。实验结果表明该方法最小可测量角度为10-5 rad 。