样品高度对XPS测试的影响
Analysis and Testing Technology and Instruments（2013）
摘要
采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时,如果样品高度选择不好,会导致测得的光电子峰强度降低.而对于一些电子结合能较高的元素,其光电子峰会变宽,有时出现双峰.分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点.
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