低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响

Science Technology and Engineering（2014）

引用 0|浏览6

关键词

dual frequency capacitively coupled plasma,quadrupole mass spectrometer,ion energy distribution,average energy

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要