多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究

本文针对目前主流的多晶硅铸锭炉装炉量与设备安全性进行分析，通过强度变形量计算及热力学分析与目前的各种安全措施进行比较，从而提出比较理想的安全改进措施。