一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置

Acta Metrologica Sinica（2018）

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摘要

设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置,利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直.实验表明:对于校准坐标测量机单轴6 m的定位误差,利用该装置调整准直光路的方法只需要调整一次,所用时间小于2 min.

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