纳米尺寸下铱单晶微柱的力学行为

本文采用聚焦离子束法(Focused Ion Beam,FIB)对<110>取向铱(Ir)单晶进行切割,加工出直径为400～3000nm的微柱样品,随后在带有平压头的纳米压痕仪上进行压缩试验来研究其力学行为.Ir单晶微柱压缩的工程应力-应变曲线表明,流变应力随着微柱直径的减小而增加,即存在“尺度效应”,且流变应力与微柱直径符合幂律关系,同时工程应力-应变曲线上出现了离散的“应变陡增”,利用“位错匮乏”机制能够对这种现象进行较好的解释.微柱压缩变形后的扫描电镜(SEM)图像表明微柱的滑移方式为多滑移,并且滑移与微柱直径相关.