露点型温湿度传感器静态测试与性能分析

该文对研制成功的显微成像式露点型温湿度传感器(以下简称传感器)进行测量误差测试和响应时间测试.在20 ℃和-20 ℃条件下,开展6个湿度测试点2个循环的测量误差测试,测试结果表明:20 ℃条件下,传感器测量性能良好,与湿度发生器相对湿度差在3％以内;-20 ℃条件下,传感器与湿度发生器相对湿度测量值相差较大,且存在一个线性减小的系统误差,反映出传感器低温下测量性能变差.环境温度为20 ℃,在低湿和高湿条件下,分别进行升湿和降湿响应时间测试.测试结果表明:传感器低湿响应时间平均值为91.5 s,高湿响应时间平均值为119 s,尚不能满足实际使用要求.对此,该文分析低温条件下造成传感器性能降低的原因,探讨改善传感器测量性能的方法.