工作参数对电场增强高功率脉冲磁控溅射的调制作用研究
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2018）
摘要
基于辅助阳极的电场增强高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术改善了常规HiPIMS放电及镀膜过程.研究工作参数对电场增强HiPIMS的调制作用可为该技术的应用提供理论依据.利用数字示波器收集HiPIMS基体离子电流,分析了不同工作气压、靶基间距、脉冲频率和脉冲宽度等工作参数对基体离子电流的调制作用规律.利用扫描电镜观察了钒膜的截面形貌特征.结果表明:在相同的靶电压下,基体离子电流平均值随工作气压的增加而增加并逐渐达到饱和值;随靶基间距的增加基体离子电流平均值逐渐减小;随脉冲频率的增加基体离子电流平均值逐渐减小后趋于稳定;当脉冲宽度为150 μs时的基体离子电流平均值高于脉冲宽度为200 μs时的基体离子电流平均值.工作参数对膜层的制备具有调制作用,在适中的工作参数下,电场增强HiPIMS获得的钒膜与基底结合良好、膜层致密完整.
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