高过载加速度敏感芯片的结构与特性
Instrument Technique and Sensor（2019）
摘要
为满足极端应用情况对高过载加速度传感器的需求,设计了一种带有微梁的加速度敏感结构.通过对主梁和微梁应力分布及敏感结构固有频率的仿真分析,给出了该敏感结构的设计方法,以此确定了传感器的结构参数.基于单晶硅材料断裂强度的尺寸效应,分析了敏感结构的过载特性.仿真结果表明,微梁的引入极大改善了加速度传感器的过载能力,所设计量程为1g的加速度敏感芯片,其满量程输出约为40 mV,过载可达79倍量程.
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