超精密光刻物镜缓冲包装设计

采用数值模拟的方法开展光刻物镜镜组的跌落分析，结合数值寻优的方式，以光刻物镜所能承受的最大加速度为约束条件确定缓冲结构的尺寸参数，并通过跌落实验验证数值仿真的准确性与可靠性，进而指导超精密光刻物镜缓冲包装的参数设计。利用此方法对质量为10 kg、镜片口径为160 mm，径厚比为8．89光刻物镜镜组进行缓冲结构设计，实验结果表明，其从10 cm 高度跌落后最大加速度为4．4 g ，面形变化仅为0．36 nm，满足超精密光学设备的动力学指标要求。