针孔对单轴法线跟踪式测量系统零位测量的影响

针对大曲率表面面形测量问题，提出一种单轴法线跟踪式测量方法。通过运用 Collins 公式，研究了倾斜角度对基于高斯光束测量系统的影响；通过理论分析和数值模拟，证明了在待测面倾斜的情况下，高斯光束与点光源作用下差动共焦系统的零位位置有明显不同；推导出高斯光束测量系统中针孔最佳尺寸和实际系统参数的关系，指出实验中波长为633 nm 测量系统的针孔最佳直径在20μm 到35μm 之间。