大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计

设计了一款口径为30．48 cm 高精度斐索激光干涉仪参考镜，其 F 数为0．82，参考面半径为224．99 mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0．095λ，均方根值为0．028λ，透射波前斜率最大值为11μrad。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响，其最大值为0．29 nm。利用 Zemax 光学设计软件对参考镜进行了仿真分析，仿真与实验结果表明，该标准镜头可满足精度1 nm 的元件面形检测需求。