LEC-GaSb单晶生长技术研究

Piezoelectrics & Acoustooptics(2016)

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摘要
采用液封直拉(LEC)法进行了生长GaSb单晶的实验研究,对比了等摩尔比的(LiCl+ KCl)和氧化硼(B2O3)两种液封剂作用下的生长控制效果.通过模拟了解了保温罩是如何改善系统温场的梯度,进而分析了温场对成晶的影响.对晶体单晶区域的测试结果给出了晶体内部的位错分布特点,X线衍射(XRD)的测试结果显示该区域的晶体质量较好.
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