用于ICF的非晶SiC微球制备及微观结构研究

以四甲基硅烷、反式二丁烯和氢气为工作气源,采用化学气相沉积-高温热解法成功制备了壁厚约21 μm的非晶SiC微球.利用能量色散X射线光谱仪、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪、Raman光谱仪、扫描电子显微镜、白光干涉仪和X射线照相机对SiC微球的化学成分、结晶状态、表面形貌与粗糙度以及密度与球形度等进行了测量和分析.结果表明:在无氧环境下,通过450~900 ℃的高温热解及致密化可将在聚α甲基苯乙烯芯轴上沉积的掺硅碳氢聚合物涂层转变成致密的SiC微球.SiC微球呈非晶态,其C/Si原子比约为1.3,主要含有C-Si键和CC键,微观结构呈无规则状且颗粒分布均匀,密度、球形度和壁厚均匀性分别为2.62 g/cm3、99.8%和96.8%.