提取共面微波探针S参数的方法

共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道.为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了“两步法”测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准.通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性.另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1～40 GHz,最终给出了优化的测量方案.