基于Pcap01的MEMS电容压力传感器测量电路设计

Electronic Science and Technology（2019）

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摘要

基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路.该电路以微处理器STM32F103为控制核心, 通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制, 完成电容数据的采集、分析、处理和显示.该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点.通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能.实验结果表明, 电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位, 分辨率可达61 aF.

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