极限电流式氧气传感器水基流延成型制备工艺研究

Xi LIU,Liang WANG,Zhiyuan LIU,Jiyan WEN,Qianqian PI,Zhiqiang SHAO

Transducer and Microsystem Technologies（2020）

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摘要

流延成型工艺是一种重要的平面陶瓷工艺,被广泛应用于多层陶瓷器件的生产.目前工业中的流延成型工艺多数使用易燃、有毒的有机溶剂,对人体和环境造成了严重的危害,不适应环境友好及清洁生产的发展方向.因此,开发以水为溶剂的环保型、绿色化流延成型工艺己经成为目前的发展趋势.采用水基流延成型工艺制备极限电流式氧气传感器敏感元件,在700℃下测量,获得特性较好的极限电流平台.

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