氯硅烷中甲基二氯硅烷的转化反应工艺

为了除去多晶硅原料中主要含碳杂质甲基二氯硅烷,通过催化反应将其转化为高沸点物质甲基三氯硅烷.采用浸渍法制备了Pd/Al2O3催化剂,将其用于催化甲基二氯硅烷的转化.采用XRF、XRD、BET、XPS、H2-脉冲化学吸附技术对催化剂物化性质进行表征.以四氯化碳为氯源,利用固定床反应器,对比了Pd/Al2O3催化剂、树脂A催化剂及AlCl3/Al2O3催化剂的催化效果.重点考察了反应温度、反应物物质的量比、反应液时空速及催化剂稳定性对甲基二氯硅烷转化率的影响,得到了最佳工艺条件.相比于树脂A催化剂和AlCl3/Al2O3催化剂,Pd/Al2O3催化剂具有更好的催化效果;在反应温度为140℃、n(甲基二氯硅烷):n(四氯化碳)=3:1、反应液时空速为5.0 h–1时,甲基二氯硅烷转化率最高可以达到69.76％.