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Study of TiAlN Coatings Deposited by Continuous High Power Magnetron Sputtering (C-HPMS)

Liangliang Liu,Lin Zhou,Wei Tang,Qingdong Ruan,Xiaoyuan Li,Zhongcan Wu,Abdul Mateen Qasim,Suihan Cui,Tijun Li,Xiubo Tian,Ricky K. Y. Fu,Zhongzhen Wu,Paul K. Chu

Surface and Coatings Technology（2020）

引用 19|浏览12

关键词

C-HPMS,TiAlN,High ionization,Rapid deposition,Particle-free

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