厚度与带隙可调、原子层沉积的超薄五氧化二钒纳米晶薄膜
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES（2019）
摘要
利用原子层沉积方法制备V2O5纳米片晶薄膜.薄膜厚度可以被精确控制, 并对纳米晶V2O5薄膜的结构形貌、光学带隙和拉曼振动有显著影响.原子层沉积过程中V2O5薄膜生长的两个阶段导致薄膜具有两个光学带隙, 这将有助于理解超薄薄膜生长与功能应用.
更多查看译文
关键词
atomic layer deposition,vanadium pentoxide,thin films
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要