一种二极管型红外热探测器热学参数的电学等效测试方法

Liu Chao,Hou Ying,Fu Jian-Yu,Liu Rui-Wen, Wei De-Bo,Chen Da-Peng

JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES（2019）

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摘要

红外热探测器的热学参数包括热容、热导、热响应时间,反应了结构信息和器件性能.精确有效地获得这些参数,对探测器的结构优化与性能评估具有指导意义.二极管型红外热探测器是红外热探测器的主要类型之一.基于二极管型红外热探测器的自热效应,提出了一种热学参数的电学等效测试方法,具有测量精度高且实现简单的特点.并对自制的一款二极管型红外焦平面阵列像元进行了测试,测试结果与理论分析相符,验证了方法的可行性.

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关键词

infrared thermal detector,diode,electrical equivalent test,thermal parameters

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