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Parasitic resistance characterization of FinFETs doped by solid-diffusion of phosphorus

Takashi Matsukawa,Takahiro Mori,Yoshihiro Sawada, Yohei Kinoshita,Yongxun Liu,Meishoku Masahara

The Japan Society of Applied Physics（2018）

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关键词
finfets,parasitic resistance characterization,phosphorus,solid-diffusion
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