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Fast Fourier Transform and Multi-Gaussian Fitting of XRR Data to Determine the Thickness of ALD Grown Thin Films Within the Initial Growth Regime

Michaela Lammel,Kevin Geishendorf,Marisa A. Choffel,Danielle M. Hamann,David C. Johnson,Kornelius Nielsch,Andy Thomas

Applied Physics Letters（2020）

引用 7|浏览19

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