ВЛИЯНИЕ ТВЕРДОФАЗНОЙ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ С ДВОЙНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ НА ПЛОТНОСТЬ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ В УЛЬТРАТОНКИХ СЛОЯХ КРЕМНИЯ НА САПФИРЕ
Физика твердого тела（2019）
Key words
Nanoscale Characterization
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined