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Sublithographic Patterning of Spin-Coated SiARC Films Using Tilted Ion Implantation

Thomas R. Rembert,Shalini Sharma, Luis Garcia,Daniel Connelly, Taji Tomoya,Tatsuya Sakai,Leonard Rubin,Tsu-Jae King Liu

IEEE Transactions on Electron Devices（2020）

引用 1|浏览8
关键词
Alternative lithography,double patterning,ion implantation,scaling
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