微细硅工具电极的制备及其微细电解加工实验
电加工与模具（2017）
摘要
提出了一种采用重掺杂单晶硅作为工具电极基体、二氧化硅/氮化硅作为绝缘层的硅工具电极用于微细电解加工.设计了利用体硅湿法腐蚀实现电极基体成形,化学气相沉积制备绝缘层的微细硅工具电极制备工艺.初步实验得到电极加工部尺寸约为100tμm,绝缘层厚度为800 nm的硅工具电极.利用高速旋转的微细硅工具电极在18CrNi8材料上加工出了微细沟槽结构和微细通孔.实验结果验证了侧壁绝缘层对杂散腐蚀抑制作用的有效性.经过96 min的持续加工实验,电极绝缘层保持了可靠的绝缘效果.
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