刻划光栅刻线弯曲误差在线修正技术研究
Journal of Applied Optics（2019）
摘要
刻划光栅存在刻线弯曲误差,将直接影响光栅的衍射波前质量.通过构建光栅刻线弯曲误差与衍射波前的映射关系,搭建了光栅刻线弯曲误差的实时测量光路,论述了光栅刻划机主动控制技术原理,将光栅刻划机主动控制技术用于光栅刻线弯曲误差的在线补偿.通过对比光栅刻划实验验证该方法的可行性.上述方法能够准确提取并有效补偿光栅刻线弯曲误差,将光栅衍射波前由0.074入提高到0.038λ,提高了48.6％,同时有效地解决了光栅表面弯曲问题.其研究结果可用于提高机械刻划光栅质量,具有重要的理论及应用价值.
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