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シリコンをベースにした反強誘電性(Pb, La)(Zr, Ti)O_3厚膜マイクロカンチレバーの大変位作動と高周波振動特性【Powered by NICT】

An Kun, Liu Li,Zhang Peng,He Jian,Chou Xiujian,Xue Chenyang,Zhang Wendong

Microelectronic Engineering（2016）

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