基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

Chen Zinan,Wang Dengkui,Wei Zhipeng,Fang Xuan,Fang Dan,Wang Xinwei,Wang Xiaohua

Chinese Journal of Lasers（2018）

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摘要

在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试,研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响.随着Al组分浓度的逐渐增大,AZO薄膜吸收边发生蓝移且吸收强度逐渐减小,光学损耗减小;同时,载流子浓度与迁移率先增大后减小,而电学损耗先减小后增大.

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关键词

thin films, surface plasmas, Al-doped ZnO, optical band gap, optical loss, electrical loss

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