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Precision Micro-Mechanical Components in Single Crystal Diamond by Deep Reactive Ion Etching

Adrien Toros,Marcell Kiss,Teodoro Graziosi,Hamed Sattari,Pascal Gallo,Niels Quack

Microsystems & Nanoengineering（2018）

引用 35|浏览32
关键词
Engineering,Other nanotechnology,general
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