有机改性硅酸盐材料微光学元件制备研究
Opto-electronic Engineering（2002）
摘要
通过溶胶-凝胶方法,利用有机硅烷(GLYMO)和正硅酸乙酯(TEOS)复合,制备出有机改性硅酸盐材料(ORMOSILS).该材料适合复制微光学元件,凝胶网络组成分析和相分离研究表明TEOS的预水解对材料性能的重要性.柱面透镜复制结果显示,复制的微光学元件基本保持母版的周期,纵向复制相对误差10%.ORMOSILS突破纯溶胶-凝胶的膜厚极限,避免凝胶干燥收缩引起尺寸的偏差.
更多AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要