低精度MEMS IMU的标定方法及误差分析

微机械系统是一种具有多功能用途的新兴技术。微机械系统传感器具有体积小、成本低等优点,但是相对而言,其随机误差较大。由于具有相同规格的MEMS惯性传感器之间的误差特性差异很大,因此很难准确对传感器误差进行建模。在集成三轴陀螺仪和三轴加速度计的过程中,由于焊接原因会导致安装误差。低精度的MEMS惯性传感器误差源为零偏、标度因数和较大的安装误差,根据这些误差源建立准确的误差模型,并通过三轴加速度计和三轴陀螺仪的修正验证了六位置试验的有效性。另外提出了一种识别敏感轴与测量矢量交叉角的方法,实验结果表明该标定方法能有效地校正MEMS惯性传感器的偏差、刻度因子和安装误差。