飞秒激光烧蚀氟化钙晶体表面特性
Acta Optica Sinica（2019）
摘要
采用飞秒激光对氟化钙晶体表面进行加工.通过调控激光参数,采用静止聚焦和动态扫描两种方式在晶体表面加工出一系列微结构(烧蚀孔和烧蚀线).分别对两种加工方式烧蚀后的氟化钙晶体表面微结构进行系统研究,包括参数依赖关系、材料表面烧蚀阈值等.计算结果表明:在静止聚焦情况下,累积因子为0.0033;在动态扫描情况下,当扫描方向与激光偏振方向垂直或平行时,累积因子分别为0.0043和0.0052.飞秒激光加工过程中的脉冲累积效应能够对晶体的烧蚀产生重要影响.
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关键词
physical optics, femtosecond laser ablation, microstructure, incubation effect, CaF2 crystal
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