高熵合金涂层的磁控溅射制备及性能研究进展

Hot Working Technology（2022）

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摘要

高熵合金涂层以其优异的性能近年来得到深入研究,其中磁控溅射制备技术因其独有的优势而被广泛应用.论述了磁控溅射法制备高熵合金的工艺调控,分析了高熵合金涂层的力学、耐腐蚀及抗氧化等性能特点,并对其应用前景进行展望,促进磁控溅射法制备高熵合金涂层的研究及应用.

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